監測2波長的等離子發光量。
實現了高精度、小型化、低價格。
輕松實現蝕刻和清潔的端點的監測。
輕公地進行蝕刻、清潔的等離子發光的監測。
通過用過濾方式檢測2波長，實現小型化、低價格ZEN-10C1AR-A-V2手冊。噴嘴間隙用。
光學系統：正反射型。
檢測距離：10正負0.5mm。
光束形狀：線光束ZEN-10C1AR-A-V2
光束直徑：900mm×25μm。
分辨率：0.25μm。
電纜長度：2m。單位：CPU單元。
名稱：經濟型（無法連接擴展I/O單元）。
I/O點數：20點。
LCD顯示器：是。
電源電壓：AC100～240V。
輸入：12點，AC100～240VZEN-10C1AR-A-V2手冊。
繼電器輸出：8點。
按鈕、日歷和時鐘：是。
模擬量輸入：否。
使用增強功能和更高精確度，應用范圍更廣
纖巧本體（70mm寬×90mm高）中的增強功能。
使用LCD和操作按鈕可進行簡單編程。
此單個單元輕松提供繼電器、定時器、計數器和時間切換功能。
使用擴展I/O單元可輕松擴展，最多允許44點I/OZEN-10C1AR-A-V2手冊。
系列中還新增了經濟型和通信型CPU單元。
每周定時器得以提高定時確度得以增強，每月偏差不超過正負15s。
還新增了多日操作和脈沖輸出操作。
從以下兩個電源選件中選?。篈C100～240V或DC12～24V。品名：傳感頭部（電纜長度：10m）歐姆龍可編程繼電器手冊。
高精度測量清潔室及工作間的內外壓差。
超大量程高精度測量。
搭載SD卡插口。
利用LAN端口連接，可簡單地建立監視系統。
配備可將記錄數據簡單圖形化的PC軟件。
用環境可視化軟件 （可選件），可實時以波形、
平面圖的形式顯示檢測數據。分類：防滴型，標準型。
接點間隔：G (0.5mm)。
防滴端子保護蓋：無歐姆龍可編程繼電器手冊。
驅動桿：滾珠板簧型。
端子的種類：焊接端子。
以高精度和豐富品種著稱最暢銷的基本型開關。
斷路容量達15A，且精度高。
備有微動開關的基本型，根據用途不同，
還有基本型、分割接觸型、維持接觸型等豐富品種歐姆龍可編程繼電器手冊。
標準型中還有微小負載用系列。
備有保護端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保護蓋和塑封端子型。分類：防滴型，標準型。
接點間隔：G (0.5mm)。
防滴端子保護蓋：無。
驅動桿：長擺桿型。
端子的種類：焊接端端子ZEN-10C1AR-A-V2編程手冊。
以高精度和豐富品種著稱最暢銷的基本型開關。
斷路容量達155A，且精度高ZEN-10C1AR-A-V2手冊。
備有微動開關的基本型，根據用途不同，
還有基本型、分割接觸型、維持接觸型等豐富品種。
標準型中還有微小負載用系列。
備有保護端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保護蓋和塑封端子型。